勻膠機(jī)主要用于晶片涂光刻膠，有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種工作方式。
送片盒中的晶片，自動(dòng)送到承片臺(tái)上，用真空吸附，在主軸電機(jī)的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速100—9900轉(zhuǎn)/分(±10轉(zhuǎn)/分)，起動(dòng)加速度可調(diào)。每道程序的持續(xù)時(shí)間，轉(zhuǎn)速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預(yù)烘時(shí)間等工藝參數(shù)均可通過(guò)編程控制。
勻膠機(jī)有一個(gè)或多個(gè)滴膠系統(tǒng)，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉(zhuǎn)滴膠。隨著晶片尺寸的增大，出現(xiàn)了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度一般在500—1000nm，同一晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計(jì)進(jìn)行恒量控制。對(duì)涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊功能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。
烘烤工位，有隧道式遠(yuǎn)紅外加熱，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按一定的升溫速率進(jìn)行烘干。烘烤過(guò)程在密封的爐子中進(jìn)行，通過(guò)抽真空排除揮發(fā)出來(lái)的有害物質(zhì)。前烘結(jié)束后，將晶片送入收片盒內(nèi)。
主軸轉(zhuǎn)速的穩(wěn)定性和重復(fù)性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關(guān)鍵，起動(dòng)加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開(kāi)并使膠均勻的決定因素。
勻膠機(jī)產(chǎn)品參數(shù)：
1.轉(zhuǎn)速可控范圍：100-12000RPM，轉(zhuǎn)速分辨率：1RPM
2.大單步步長(zhǎng)3000S，旋轉(zhuǎn)時(shí)間分辨率0.1S
3.加速度可控范圍：100-30000RPM/S
4.最大推薦旋涂可底物尺寸：6寸圓形底物
5.7寸全彩觸摸屏人機(jī)界面操作
6.單步或多步運(yùn)行可選，可編組10組10步程序
7.超高分子材料內(nèi)腔，不銹鋼外殼
8.特殊設(shè)計(jì)的防進(jìn)膠、防堵膠功能
9.可升級(jí)一路精確計(jì)量自動(dòng)點(diǎn)膠功能
11.帶真空和蓋子開(kāi)關(guān)互鎖功能，確保操作安全
12.標(biāo)配三種直徑規(guī)格真空載物盤(pán)(直徑10mm、25mm、2英寸)
14.外形尺寸：295(W)*366(D)*270(H)
EZ6-S勻膠機(jī)是一款高性能精密勻膠機(jī)，采用了*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念，配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作。可以存貯10組程序，每組程序可達(dá)10步。所有運(yùn)行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、加速度、轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間、點(diǎn)膠機(jī)選擇等都可在觸屏上方便設(shè)置。
EZ6-S-EN嵌入式靈巧型EZ6勻膠機(jī)：
與EZ6技術(shù)參數(shù)*相同，分體嵌入式設(shè)計(jì)：
1.分體的EZ6勻膠機(jī)，主機(jī)與控制盒分開(kāi)，用電纜連接
2.可嵌入手套箱或工作臺(tái)面下，降低操作高度
3.觸屏安裝在手套箱內(nèi)或手套箱外可選
所在城市：無(wú)錫市 
聯(lián)系人：陸燕
地址：江蘇江陰金山路201號(hào)創(chuàng)智產(chǎn)業(yè)園A座五樓南
郵箱：lu.yan@leboscience.cn
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